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光谱共焦传感器
CCS-PI系列彩色共焦位移传感器
1.简介
彩色共焦位移传感器是一种精度可达次微米量级的非接触式位移量测系统,对于表面漫反射或镜反射之物体乃至于透明材质皆可测量其位移或者厚度,基于出光与回传讯号路径同轴之特性,彩色共焦位移
传感器亦适合于深孔/盲孔工件等量测应用。
2.原理
彩色共焦位移传感器乃利用特质的彩色编码镜头可见光产生轴向色散输出,并经由光谱解析器解析共焦回传光波讯号,最后透过波长与位移转换曲线计算出工件位移量测值。
3.特点
(1)非接触式光学共焦测量技术,具有超高分辨率及同光轴回传讯号不会被遮挡之特性
(2)光纤传输彩色编码测头设计,其结构轻巧且内部不含电子零件而不受环境干扰影响
(3)采用白光(可见光)光源系统,相较激光光源而言安全防护要求低
(4)独特多层材质量测演算法,可量测透明/半透明多层材质间之厚度或间隙
4. 优势
(1) 稳定量测各类材质,例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等
(2) 适用于各种工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特征尺寸量测,例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓灯
(3) 高温高压等严苛操作条件下亦能适应正常使用
(4) 测头结构轻巧,易于整合各行业之自动化量测应用
5.CCS-PI规格表
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