1.什么是芯片开封
开封即:Decap,又称开盖、开帽,是指对完整包装的IC进行局部腐蚀,使IC能够暴露,同时保持芯片功能完整无损,保持die、bondpads、bondwires甚至lead-不受损坏,为下一个芯片故障分析实验做准备,方便观察或进行其他测试(如FIB、EMMI)。通过开封,我们可以直观地观察芯片的内部结构。开封后,我们可以结合OM分析来判断样品的现状和可能的原因。
2.开封的目的
通过开封我们能清晰看到芯片表面状态,芯片划片道是否有崩边、裂纹,芯片表面是否存在异常,芯片的logo信息,测量芯片尺寸和键合线线径,观察键合线材质,以及钝化层的完整性等芯片内部信息。
3.芯片开封方法
一般常用的开封方法有化学开封、机械开封、激光开封,Decap实验室可以处理几乎所有的IC封装形式,键合线类型(Au、Cu、Ag、Al)。针对不同的键合线类型有不同的腐蚀方法,聚合物树脂被腐蚀液腐蚀成易溶于丙酮的低分子化合物。在超声波的作用下,低分子化合物被清洗掉,从而暴露出芯片表面。
开封范围:COB、BGA、QFP、QFN、SOT、TO、DIP、BGA、COB陶瓷、金属等特殊包装。
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